產(chǎn)品分類
產(chǎn)品型號(hào)
HMDS8-2廠商性質(zhì)
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2510產(chǎn)品描述
HMDS增粘涂膠機(jī)應(yīng)用于在勻膠前的硅片等基片表面均勻涂布一層HMDS（六甲基二硅氮烷）。作用：降低HMDS處理后的硅片接觸角，進(jìn)而降低勻膠時(shí)光刻膠在硅片表面鋪展開的難度，提高光刻膠與硅片的黏附性，降低光刻膠的用量。
產(chǎn)品型號(hào)
SHD8-SE廠商性質(zhì)
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3202產(chǎn)品描述
全柜式涂膠顯影一體機(jī)概述： SHD8-SE涂膠顯影系統(tǒng)一體機(jī)主要由勻膠單元、烤膠單元、顯影單元等部分組成，該設(shè)備針對(duì)高校研究所實(shí)驗(yàn)室，特點(diǎn)是占地面積小，性價(jià)價(jià)比更高。整機(jī)采用框架結(jié)構(gòu)，外表為不銹鋼或者PP，無(wú)塵且不吸附顆粒，采用7寸操作界面控制，帶FFU、上排風(fēng)接口、腔體為黃色燈、重力排廢接口、且每個(gè)模塊均可獨(dú)立工作，操作方式為手動(dòng)上下樣品。
產(chǎn)品型號(hào)
MSD-200D廠商性質(zhì)
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2175產(chǎn)品描述
桌上型自動(dòng)顯影機(jī)MSD-200D主要應(yīng)用于曝光后的顯影工藝。該設(shè)備主要由顯影腔單元、自動(dòng)擺臂單元、以及供液系統(tǒng)、主軸系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成，整機(jī)采用框架結(jié)構(gòu)，外表為鏡面不銹鋼，無(wú)塵且不吸附顆粒，工作方式為手動(dòng)上下片，自動(dòng)完成顯影工藝。 桌上型成像儀顯影單元基片采用真空吸附加四周擋板固定方式，采用進(jìn)口伺服電機(jī)，保證轉(zhuǎn)速、加速度、控制精度高，重復(fù)性好；供液系統(tǒng)采用廠務(wù)或者壓力容器直接供液方式。
產(chǎn)品型號(hào)
MSC-200T-D廠商性質(zhì)
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2134產(chǎn)品描述
自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)，MSC-200T-D桌上型半自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)用于對(duì)均勻性和一致性要求較高的表面涂布工藝，將光刻膠溶液自動(dòng)涂覆在硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵、鈮酸鋰、光柵、ITO、掩模版等基片上形成薄膜，主要應(yīng)用于6、8寸晶圓及方形樣品。將基材涂上一層特定的光刻膠、感光涂料或油墨， 取出后在進(jìn)行后道烘干工藝。
產(chǎn)品型號(hào)
MSC系列廠商性質(zhì)
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1884產(chǎn)品描述
勻膠機(jī)設(shè)備簡(jiǎn)介： 桌上型旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)，用于對(duì)均勻性要求較高的表面涂布工藝，將光刻膠溶液手動(dòng)涂覆在硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵、鈮酸鋰等基片上形成薄膜，主要應(yīng)用于12寸以內(nèi)樣品。
地址：安徽省合肥市蜀山區(qū)湯口路香馨產(chǎn)業(yè)園
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