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當(dāng)前位置:首頁  /  產(chǎn)品中心  /  涂膠顯影機(jī)  /  勻膠機(jī)  /  HMDS8-2HMDS增粘涂膠機(jī)

HMDS增粘涂膠機(jī)

簡要描述:HMDS增粘涂膠機(jī)應(yīng)用于在勻膠前的硅片等基片表面均勻涂布一層HMDS(六甲基二硅氮烷)。作用:降低HMDS處理后的硅片接觸角,進(jìn)而降低勻膠時(shí)光刻膠在硅片表面鋪展開的難度,提高光刻膠與硅片的黏附性,降低光刻膠的用量。

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

HMDS8-2

廠商性質(zhì)

生產(chǎn)廠家

更新時(shí)間

2026-05-11

瀏覽次數(shù)

2507
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池

HMDS增粘涂膠機(jī)主要技術(shù)指標(biāo):

1、 工作室容積: 250×250×250mm (W×D×H);

2、 腔體材質(zhì):SUS316;

3、 外框架材質(zhì):Q235A,表面噴塑處理;

4、 工件擺放:2層;

5、 加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫,加熱器外置;

6、 工作室溫度范圍:常溫~ +200℃ ;

7、 溫度分辨率:0.1℃;

8、 溫度波動(dòng)度:±0.5℃;

9、 降溫方式:隨爐自然降溫

10、 真空度:133Pa,到達(dá)真空時(shí)間10min;

11、 藥液容器:1組,容器材質(zhì):高硼硅玻璃;

12、    源: 220V\50±0.5Hz;

13、    率: 3kw;

HMDS增粘涂膠機(jī)箱體結(jié)構(gòu):

1、 結(jié)構(gòu)形式:整體式方形不銹鋼內(nèi)膽結(jié)構(gòu),由腔體部分、真空系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)組成。電氣控制系統(tǒng)位于箱體頂部,便于操作和安全防護(hù)。

試驗(yàn)箱工作室承壓方式為內(nèi)承壓方式,采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼板作為承壓箱體(即工作室),保證降溫速率和溫控的靈敏度,并保證工作室在低氣壓狀態(tài)下有較好的溫度均勻性。在工作室的外面再安裝外殼,填充陶瓷纖維保溫材料,增加保溫性能,并使得整個(gè)試驗(yàn)箱的性能得以保證;腔體內(nèi)共2層層板

2、箱體內(nèi)壁材料:不銹鋼板(SUS316);

3、爐門密封:爐門的密封采用定制型裙邊硅橡膠密封條;

4、工作室內(nèi)膽外壁焊有加強(qiáng)筋;

5、在箱體底部安裝有腳。

真空系統(tǒng)

1、 真空泵:干泵

2、 真空輔助件:主要真空輔助件均選用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)器件,如:壓力傳感器、真空放氣電磁閥

3、工作壓力:數(shù)字顯示。

HMDS補(bǔ)液系統(tǒng)

1、SUS316封蓋;

2、高硼硅承載容器;

3、缺液報(bào)警:浮球液位計(jì);

4、1只藥液罐,1組管道

控制系統(tǒng):

1、 溫度測(cè)量: 優(yōu)質(zhì)鎧裝K分度熱電偶;

2、 壓力測(cè)量: 壓力傳感器,其結(jié)構(gòu)易于更換,便于安裝;

3、 溫度及壓力控制(界面圖僅供參考):

采用7.0寸彩色液晶觸摸式恒溫恒壓可編程控制器,配置RS232或RS485計(jì)算機(jī)通訊接口, 可連接計(jì)算機(jī)儲(chǔ)存記錄歷史數(shù)據(jù),中文界面,可直接顯示設(shè)定溫度、壓力,箱內(nèi)實(shí)際溫度、壓力偏差、系統(tǒng)參數(shù)、運(yùn)行曲線、加熱器工作狀態(tài)及初始化參數(shù)密碼鎖定等,并具有試驗(yàn)程序自動(dòng)運(yùn)行及PID參數(shù)自整定功能。運(yùn)行程序的編制采用人機(jī)對(duì)話方式,可實(shí)現(xiàn)設(shè)備全自動(dòng)運(yùn)行功能;

儀表特點(diǎn):

A. 具有溫濕度PID調(diào)節(jié)及控制參數(shù)自動(dòng)整定功能;

B. 采用液晶顯示,可以顯示多種畫面(運(yùn)行畫面、選擇畫面、運(yùn)行參數(shù)設(shè)定畫面、設(shè)置參數(shù)設(shè)定畫面和程序參數(shù)設(shè)定畫面);

C. 溫度采用K分度熱電偶輸入;壓力數(shù)據(jù)采集采用壓力傳感器;

D. 具有豐富的任意運(yùn)算功能,實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的控制;

4、控制器件采用西門子、施耐德等優(yōu)質(zhì)器件,保證控制的可靠性。

  5、設(shè)有超溫保護(hù)聲光報(bào)警裝置,和自動(dòng)斷電保護(hù)裝置,使設(shè)備能達(dá)到安全運(yùn)行的目的。

6、加熱控制元件:

安全保護(hù)措施

1、安全可靠的接地保護(hù)裝置;

2、獨(dú)立的工作室超溫保護(hù)(溫度上限保護(hù));

3、加熱器短路及過載保護(hù);

設(shè)備使用條件

1、 電   源: AC220V±10% V、50 Hz±2%, 3.2kva;

2、 使用環(huán)境溫度: 5~35℃

3、 環(huán)境濕度: ≤85%R.H;

4、 空氣質(zhì)量:無高濃度粉塵及腐蝕性氣體。

、主要材料表                

材料名稱

規(guī)格

生產(chǎn)國/廠家

氣源處理


日本SMC

截止閥/電磁閥/過濾器/

若干

國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

水壓保護(hù)器


國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

過濾器


國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

干泵


國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

壓力傳感器


國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品




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