桌上型自動顯影機

簡要描述：桌上型自動顯影機MSD-200D主要應用于曝光后的顯影工藝。該設備主要由顯影腔單元、自動擺臂單元、以及供液系統(tǒng)、主軸系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成，整機采用框架結構，外表為鏡面不銹鋼，無塵且不吸附顆粒，工作方式為手動上下片，自動完成顯影工藝。
桌上型成像儀顯影單元基片采用真空吸附加四周擋板固定方式，采用進口伺服電機，保證轉速、加速度、控制精度高，重復性好；供液系統(tǒng)采用廠務或者壓力容器直接供液方式。

基礎信息

產(chǎn)品型號

MSD-200D

廠商性質

生產(chǎn)廠家

更新時間

2026-05-11

瀏覽次數(shù)

2171

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

涂膠顯影機

勻膠機涂布機

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詳細介紹

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桌上型自動顯影機MSD-200D用于對顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝，適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵等。主要應用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業(yè)客戶。

本司也提供8寸、12寸桌上型顯影機，更多功能如吹氣、背洗等請咨詢。

桌上型顯影機技術規(guī)格：

項目

規(guī)格

主體

外殼材質:鏡面不銹鋼

處理樣品尺寸：8寸晶圓以內

承盤:PTFE

馬達:

轉速：20-3000 R.P.M

搖臂：自動

操作界面：7寸觸摸屏

顯影裝置

藥液裝置:

顯影 *1（控溫可選，也可選多路）

DIW *1

N2*1

控制系統(tǒng)

系統(tǒng): PLC

使用接口：7寸觸屏

配方:手動和自動模式

編程 : 50 組 20 步

安全裝置

晶圓承盤真空滲液保護:

真空檢知:

數(shù)字設定:真空值下限保護

運行結束報警提示

附件	真空泵x1 顯影罐x1 去離子水罐x1 廢液桶x1 真空吸盤x1 其它可選

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