針筒式旋轉涂布機

簡要描述：針筒式旋轉涂布機MSC-200T-D桌上型半自動旋轉涂布機用于對均勻性和一致性要求較高的表面涂布工藝，將光刻膠溶液自動涂覆在硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵、鈮酸鋰、光柵、ITO、掩模版等基片上形成薄膜，主要應用于6、8寸晶圓及方形樣品。將基材涂上一層特定的光刻膠、感光涂料或油墨，取出后在進行后道烘干工藝。

基礎信息

產(chǎn)品型號

MSC-200T-D

廠商性質(zhì)

生產(chǎn)廠家

更新時間

2026-05-11

瀏覽次數(shù)

1991

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

詳細介紹

品牌	其他品牌

針筒式旋轉涂布機應用程序：

人工放置基板->啟動真空吸附->基板吸附于轉盤上 ->自動滴膠->旋轉開啟->低轉速->中轉速->高轉速->旋轉停止->去邊->破真空->人工取件。

針筒式旋轉涂布機產(chǎn)品特點：

針筒式滴膠方式更適合科研和小批量生產(chǎn)，不用清洗管道；

整機用料扎實、750W進口伺服電機、適合更大更重樣品；

吸盤平整度精細加工平磨，均勻性好，可達1%以內(nèi)；

電氣獨立集成機身側面，避免因腔體漏液到設備內(nèi)部導致短路風險；

配置光膠過濾器，清洗保養(yǎng)方便，避免堵膠帶來飛片風險；

真空負壓數(shù)值顯示和低真空報警，避免因負壓不足帶來飛片風險。

安全措施：

功能	規(guī)格
真空檢知	面版上有數(shù)位顯示計，低壓報警
蓋子檢測	運行中開蓋報警
防吸入光阻裝置	加裝于真空PUMP之前,預防光阻液吸入需定期清潔保養(yǎng)
電控箱	位置放在側面，防止漏液帶來短路風險

產(chǎn)品參數(shù)：